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光学仪器及设备
日立双束聚焦离子束系统NX5000
日立大型扫描电镜SU3900
日立中型扫描电镜SU3800
日立热场发射扫描电镜SU7000
新型台式扫描电镜TM4000
离子研磨系统ArBlade5000
日立120kV透射电镜HT7800
场发射扫描电子显微镜Regulus8200
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus8100
日立高新扫描电子显微镜FlexSEM 1000
光谱检测分析仪
多变量分析软件3D SpectAlyze
紫外可见近红外分光光度计UH5700
日立荧光分布成像系统EEM View
日立ZA3700石墨炉原子吸收分光光度计
日立ZA3300火焰原子吸收分光光度计
日立F-7100荧光分光光度计
日立UH4150紫外可见近红外分光光度计
日立UH5300双光束紫外可见分光光度计
日立ZA3000系列原子吸收分光光度计
日立F-7000荧光分光光度计
色谱仪
日立色谱数据系统ChromAssist Data Station
日立超高效液相色谱仪ChromasterUltra Rs
日立Primaide高效液相色谱仪
日立Chromaster高效液相色谱仪
分子生物学仪器
核酸提取-荧光定量PCR一体机geneLEAD VIII
紧凑型毛细管电泳DNA测序仪
测量/计量仪器
日立白光干涉显微镜VS1800
质谱检测分析仪
Chromaster 5610质谱检测器
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产品系列
产品描述
高性能与高灵活性兼备
“Ethos”采用日立高新的核心技术--全球**的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在FIB加工时实现实时观察。
SEM镜筒内标配3个探测器,可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像;可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物,对其观察以及加工分析。
另外,全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口,可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台,可全面加工并观察**直径为150mm的样品。
因此,它不仅可以用于半导体器件的检测,而且还可以用于从生物到钢铁磁性材料等各种样品的综合分析。
*1
Energy Dispersive x-ray Spectrometer(能谱仪(EDS))
*2
Electron Backscatter Diffraction(电子背散射衍射(EBSD))
核心理念
1. 搭载两种透镜模式的高性能SEM镜筒
HR模式下可实现高分辨观察(半内透镜)
FF模式下可实现高精度加工终点检测(Timesharing Mode)
2. 高通量加工
可通过高电流密度FIB实现快速加工(**束流100nA)
用户可根据自身需求设定加工步骤
3. Micro Sampling System*3
运用ACE技术(加工位置调整)抑制Curtaining效应
控制离子束的入射角度,制备厚度均匀的薄膜样品
4. 实现低损伤加工的Triple Beam System*3
采用低加速(Ar/Xe)离子束,实现低损伤加工
去除镓污染
5. 样品仓与样品台适用于各种样品分析
多接口样品仓(大小接口)
超大防振样品台(150 mm□)
*3
选配